Construcción de media celda de ánodo de Si. Método experimental. En este estudio se utilizaron muestras de obleas de Si con una capa superficial de SiOx nativa. Todos los electrodos de silicona (1 cm× Cuadrados de 1 cm) se limpiaron con un protocolo de limpieza de varios pasos establecido para eliminar la contaminación de la superficie.33 Obleas de silicio (proceso de Czochralski, dopado con boro a 0,001− 0,005Ω cm, (100) orientación, 700μ m de espesor, adquirido de Addison Engineering) se utilizaron como ánodos. Fueron cortados con láser en un área de 1× 1cm2 y luego recibió una limpieza RCA.33 La limpieza RCA se completó sin pasos de grabado con ácido HF para preservar la película de SiOx nativa original.

Después de la limpieza, los electrodos se secaron en un horno de vacío a 100ºC.° C antes de la fabricación de la celda. Los electrolitos seleccionados para esta investigación son 1,2 mol / L de LiPF6 disueltos en una solución de carbonato de etileno (EC): etil metil carbonato (EMC) con una relación de 3: 7 en peso, respectivamente. Todos los electrodos de Si se utilizaron como electrodos de trabajo en las pilas de botón, donde el litio

se utilizó metal como contraelectrodo. En cada celda, 4.3μ Se utilizó L del electrolito; filtros de microfibra de vidrio (Whatman, GE Healthcare Life Sciences) con un espesor de 260μ m con separadores Celgard 2325 se utilizaron en el montaje de la celda. Se montaron pilas de monedas que contenían los componentes antes mencionados en una caja de guantes llena de Ar. Para mantener las celdas a una presión interna constante, se utilizaron espaciadores de acero inoxidable de 0,5 mm de espesor y resortes de acero inoxidable de 0,3 mm de espesor. Un crimpadora de celda de moneda (Xiamen Tmaxcn Inc.) se utilizó para completar el montaje con 4 s de presión aplicada.